SMC基本型雙聯(lián)氣缸MXS6-30A-M9P 
30800 mm / s30700 mm / s
桿部分的雙密封結(jié)構(gòu)使氣缸可以將排氣通過泄壓口直接引導(dǎo)到潔凈室的外部
環(huán)境。真空類型規(guī)格允許在強(qiáng)制排出空氣的同時(shí)在桿部分上施加真空
軸承的種類M滑動(dòng)軸承
空氣（非潤滑油）1.05兆帕0.7兆帕
氣缸行程30氣缸行程 30mm
大工作壓力端口尺寸軸承類型
通口螺紋的種類-M螺紋 Rc1/8
低工作壓力活塞速度墊子行程可調(diào)范圍
流體耐壓容許動(dòng)能-1060nC（無凍結(jié)）10
30600 mm / s30300 mm / sM5 x 0.8
磁性開關(guān)型號(hào)Y59A無觸點(diǎn)磁性開關(guān),
直接出線式, 帶指示燈, 3線式(NPN), 橫引出,
字段描述字段取值取值描述
橡膠保險(xiǎn)杠縮回端無負(fù)載時(shí)的非旋轉(zhuǎn)精度Qn
導(dǎo)線長0.5m, 適用電壓：DC5V,12V,24V(DC4.5~28V)
可用于潔凈室環(huán)境。泄放型規(guī)格與
滑動(dòng)軸承，球襯套軸承（兩者相同）
●應(yīng)用于拾放處理，具有高精度導(dǎo)向機(jī)能的薄形氣缸
小于或等于下表中提供的值作為指導(dǎo)
環(huán)境溫度和流體溫度
有兩種類型的氣瓶，釋放型和真空型，
RC 1/80.15兆帕0.1兆帕0.05兆帕
缸徑20缸徑 20mm訂制規(guī)格-標(biāo)準(zhǔn)
與標(biāo)準(zhǔn)行程相比，0-5 mm
磁性開關(guān)個(gè)數(shù)-2個(gè) 或 無
通過真空端口到達(dá)潔凈室環(huán)境的外部。
AW20-N02H
ZPT63HNJ25-B01-A18
CDRB2BWU10-90D
CDRB2BWU10-90D-93A
SMCVCW23-5DL-2
SMCVCW21-5DL-3-02-L-F-Q
SMC基本型雙聯(lián)氣缸MXS6-30A-M9P